Strutturi tal-valv li jirregolaw il-pressjoni bi fluss trasversali huma attraenti għal applikazzjonijiet ta 'kontroll tal-pressjoni ta' fluss għoli minħabba t-tnaqqis fil-forza ta 'attwazzjoni meħtieġa u ż-żona mnaqqsa tal-footprint tal-apparat. Valv tal-bieb tas-sikkina kien iffabbrikat, u kkontrolla fluss ta '1.3 Nl / min bi pressjoni ta' provvista ta '1.5 bar. Il-valv kien mikro fabbrikat bl-użu ta 'inċiżjoni tal-jone reattiva profonda (DRIE) u twaħħil tal-fużjoni tas-silikon. L-użu ta 'valvi tal-bieb tas-sikkina mikro bil-makna f'sistemi ta' kontroll tal-pressjoni jtejjeb il-prestazzjoni u l-iffrankar tal-ispejjeż jista 'jiġi realizzat.
Ibgħat l-inkjesta